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关于纳米孔Al_2O_3修饰Si基氨气传感器设计介绍

关于纳米孔Al_2O_3修饰Si基氨气传感器设计介绍:随着石油化学工业的发展,易燃、易爆、有毒气体的种类和应用范围都增加了,这些气体一旦发生泄漏,将会引发中毒、火灾甚至爆炸事故,严重危害人民的生命和财产安全。因此,及时可靠地探测空气中某些气体的含量,采取有效措施,减少泄漏引发的事故非常重要,要做到这一点,对气体探测器的气体敏感材料提出了更高的要求。而新材料特别是新的气敏材料的不断问世,给气体传感器的发展提供了可能。目前,有机半导体气敏材料已成为研究热点[1~3]。但是制约有机半导体实际应用的问题是基板与敏感膜结合一直有较高的接触电阻,而且有机半导体的气敏反应主要在膜表面,在有限的空间内如何增大其表面积也是问题所在。在气体传感器的研究中,往往都忽略基板的深层次研究,采用的基板主要有Si基板、Al2O3基板、微晶玻璃基板等,仅仅是利用了它们的结构功能;近几年的主要研究热点是MEMS技术,以Si基为芯片的MEMS传感器成为研究热点[4~6],仅仅解决了传感器芯片的尺寸问题。同时Si基MEMS传感器主要以压力、加速度、位移等物理量传感器为主,而对于环境参数检测的气氛、湿度等化学量传感器而言,由于Si基的表面光滑,使之与敏感材料的亲和性较差

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