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基于氧化锌纳米棒阵列的声表面波氨气传感器

氯气传感器.png

本文介绍了一种基于氧化锌纳米棒的声表面波氨气传感器。传感器采用声表面波振荡器结构,选频元件为声表面波谐振器,并通过水热法在其表面生长氧化锌纳米棒阵列敏感薄膜,纳米棒长度为~1um,直径~100nm。该敏感薄膜为三维结构,其比表面积较其他二维结构薄膜大几十倍。将此传感器在常温下进行测试,可以看到,该传感器具有灵敏度高,响应回复速度快等优点,且克服了现有NH3传感器工作温度高的缺点。

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