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空穴注入型CuPc二氧化氮气体传感器研究

二氧化氮传感器.jpg

二氧化氮传感器结构和敏感机理二氧化氮(NOZ)是大气中一种对环境和人类健康危害很大的有毒气体,及时准确地获知大气中二氧化氮气体浓度对于监测和保护环境具有重要意义。酞普铜(CuP。)具有高灵敏度和高选择性,被广泛地应用于二氧化氮气体传感器的研究之中讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型CuPc薄膜二氧化氮气体传感器,其器件结构为:采用溅射工艺的ITO(InO、ZnO)作下电极,真空蒸发CuPc薄膜作为敏感功能层,上电极为AL叉指电极。这种CuPc传感器与传统的AlO_3/CuPc/Al相比,电阻下降了3~4个数量级。同时讨论了该传感器的敏感特性。

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