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氨气传感器

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关于In基无机半导体MEMS氯气传感器的研究

氯气传感器

随着现代检测技术要求不断提高,MEMS技术正成为现代传感器领域研究的热点。其中,微结构气体传感器作为气体危化品检测技术的核心,具有低功耗、集成化、阵列化、智能化等优点,可为现代危化品安全检测及网络化微系统跟踪监测提供可靠的产品技术支持。本论文将气体敏感材料合成和微结构电极制备两方面相结合,制作了In基复合半导体微结构Cl2氯气传感器,针对石油化工领域 Cl2危化品的生产、运输、存储等环节高浓度泄漏、爆炸等意外事故提供可靠的预警及信息反馈。 本文通过化学共沉积法和溶胶.凝胶法(Sol-Gel)合成了In-Nb,In-Cd,In-Mg三种复合敏感材料。氯气传感器具有低功耗、高精度、高灵敏度、线性范围宽、抗干扰能力强、优异的重复性和稳定性。

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