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聚苯胺/十六氯酞菁锌杂化有机半导体氯气传感器的研究的必要性

氯气传感器

聚苯胺/十六氯酞菁锌杂化有机半导体氯气传感器的研究的必要性:采用微加工技术在硅片上制作了铂金叉指电极,通过真空共蒸发沉积制备了聚苯胺/十六氯酞菁锌气敏薄膜,借助SEM对沉积膜进行了表征分析,并分析了氯气作用下影响该薄膜自身性能的相关因素,同时也对该传感器进行了气敏性能测试。实验结果表明:当聚苯胺与十六氯酞菁锌化学计量比为2:3时,薄膜对氯气有很好的敏感特性;最佳的蒸发沉积条件为基片温度160 ℃、蒸发温度425 ℃、薄膜厚度75 nm;提高工作温度(100 ℃以上)或增加气体浓度(100 ppm以上),均可以提高响应特性,但二者都将存在一个上限值。

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